多层膜反射镜_赓旭光电_专业滤光片生产厂家

多层膜反射镜

注：以下参数仅供参考，具体滤光片等光学镜片产品指标请联系我们公司在线客服人员或致电我公司! 2014-05-29 14:51:12

多层膜反射镜

本产品进行了EUV光刻的多层膜反射镜的制造。

R = 64％70％

多层膜反射镜

应用范围：半导体和液晶曝光装置（EUV对应），实验室极紫外光刻反射光学器件评估

光谱特性，规格

应用范围：半导体和液晶曝光装置（EUV对应），实验室极紫外光刻反射光学器件评估

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