在光学薄膜制备过程中，监控系统的整体响应对膜层的光学性能存在着一定的影响。相对于常规的光学薄膜，超窄带滤光片由于膜系结构复杂，带宽很窄，系统的响应对其性能的影响更为显著。监控系统对监控信号的影响主要来自于光源、单色仪、光学系统、探测器和信号处理装置等。其中光学系统、探测器和信号处理装置产生的影响可以通过多次试验加以修正。因此，光源和单色仪成为影响膜系光学性能最主要的因素。由于光源及单色仪的不稳定，所以通过单色仪的监控光并不是理论上要求的单波长光，而是具有定的带宽。接收装置接收到的监控信号是这个带宽范围内的光强总和，这使得实际的极值点信号偏离理想的单波长情况下的极值点信号，产生膜厚误差，从而影响滤光片的性能。