由于真空镀膜机需要在真空条件下工作，所以使用环境需要达到高真空度，所以抽气系统的作用是必不可少的，除了必要的抽气外，在真空镀膜机运行的过程中，还需要对工件进行除气。

    有些滤光片基材中它本身内部存在着很多的气体、水分等，这些物质都会随着设备加热时被排放到真空室中，降低了真空度，更甚者，有些气体带有毒性成分，直接损害到真空室内部机械结构，造成设备不能正常运作。另外，正在镀膜过程中，由于工件内气体加热膨胀，容易使已经镀上的膜层裂开，当然这个情况出现的机率视工件本身物理性质有关，像塑料等容易膨胀的，机率就比较高，像金属等硬质的，机率就比较低，但也不能忽视，因此工件的除气是非常必要的。

    通常我们使用的滤光片基材除气方法是烘烤，通过加热把工件内的气体、水分排出，在镀膜前，抽气的同时，对工件进行加热，当工件内水分和气体由于加热而放出后，随着真空室内的气体一起被真空泵抽出。

针对不同的滤光片基材采取不一样的除气措施，有效控制滤光片基材内部气体与水分排放，以便提高滤光片的镀膜的稳定性和均匀性。