镀膜设备中真空器件和真空容器达不到预期真空度的原因，除了漏气之外，还可以是由于材料出气或者虚漏的原因。虚漏是由于设计或制造加工工艺不当，在系统内形成贮存气源的洞穴，这些气体在真这环境下慢慢释放出来，形同漏气，帮称虚漏。

　　真空镀膜设备系统内的紧固螺钉没有出气孔，焊缝交叉设计，焊接不完善留有孔穴等都会造成虚漏现象，真空系统中的冷阱若使用不当也会产生虚漏。对于超高真空系统来说，残余气体中的二氧化碳可能冷凝在液氮冷阱上成霜，这也是一个虚漏气源。

漏孔地堵塞现象

超高真空系统容器、电真空器件的漏孔往往是直径在微米数量级的小漏孔，空气中的尘埃或液体都很容易造成漏孔的堵塞，这些考完常常是暂时性的，检漏时好像不漏，但经过抽气之后，又会出现漏气。为了检查，一定要仔细处理好检漏部位，尽量不用手去摸被检测区域，避免尘埃或油脂堵塞漏孔。

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